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製品紹介

製 品 紹 介

 

 

製品紹介

駆動方式 ベルト・ギア・カップリング・ビルトインモーター(FWS独自の固定方法)
潤滑方法 グリース・オイル・油静圧

 

生産実績

各種工作機械主軸 "ワーク精度(高精密小型NC旋盤)
寸法公差/±0.5μm以内・真円度/0.2μm以下(0.12μm/8000rpm)
回転数/dmn値150万・平面度/0.15μm以下・面粗度/0.2Rmaxμm以下"
半導体関連装置用主軸 CMP・ラッピング・グラインディング・ワイヤソー・スライシング
液晶製造装置用主軸 スピンコーター
累計 約6万本(約800機種/約100社)
特殊用途実績 砥石ドレッサー・測定用回転テーブル・3D映像用高精度ステージ・特殊治工具
各種スピンドル修理 自社製のみ


 

 

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